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|  | はじめに |
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| | 事業編 目次 |
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| | 1. 事業概要 |
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| | 2. 共同研究運営の概要 |
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| | 3. 共同研究の概要 |
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| | 4. 周辺技術動向 |
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| | 5. 成果の公開状況 |
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| | 6. まとめ |
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| | 【参考資料】 |
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| | 研究編 目次 |
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| | ? 固体表面電子状態シミュレーション用高速プログラムの開発 |
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| | ?. 1 平面波展開法による第一原理分子動力学シミュレーションプログラムの開発 |
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| | | | 平面波展開法による第一原理分子動力学シミュレーションプログラムの開発 | B3 | | | 委託研究(大阪国際女子大学) | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (899K)] |
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| | ?. 2 実空間差分法による第一原理分子動力学シミュレーションプログラムの開発 |
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| | | | 実空間差分法による第一原理分子動力学シミュレーションプログラムの開発 | B27 | | | 委託研究(大阪大学) | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (456K)] |
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| | ?. 3 積分方程式法を用いた新しい計算手法の開発 |
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| | ? 固体表面反応シミュレーションとその実証 |
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| | ?. 1 超純水電気化学加工プロセスの第一原理分子動力学シミュレーションとその実証 |
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| | | | 超純水電気化学加工プロセスの第一原理分子動力学シミュレーションとその実証 | B53 | | | 委託研究(大阪大学) | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (1722K)] |
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| | ?. 2 EEM(Elastic Emission Machining) の加工現象のシミュレーション |
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| | | | EEM(Elastic Emission Machining)の加工現象のシミュレーション | B91 | | | 大阪工業技術研究所, 委託研究(大阪大学) | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (1634K)] |
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| | ?. 3 固体表面の反応素過程シミュレーションによるプラズマ CVM(Chemical Vaporization Machining) の加工メカニズムの解明 |
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| | | | 固体表面の反応素過程シミュレーションによるプラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)の加工メカニズムの解明 | B121 | | | 委託研究(大阪国際女子大学), 兵庫県立工業技術センター | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (511K)] |
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| | ?. 4 Si(001)表面上へのアンモニア分子解離吸着過程の第一原理分子動力学シミュレーション |
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| | | | Si(001)表面上へのアンモニア分子解離吸着過程の第一原理分子動力学シミュレーション | B135 | | | 委託研究(大阪大学) | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (481K)] |
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| | ?. 5 ハロゲンおよび金属が吸着した Si(001)2×1 表面の電子状態シミュレーションとSTM/STS(Scanning Tunneling Microscopy / Scanning Tunneling Spectroscopy) による実証 |
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| | | | ハロゲンおよび金属が吸着したSi(001)2×1表面の電子状態シミュレーションとSTM/STS(Scanning Tunneling Microscopy/Scanning Tunneling Spectroscopy)による実証 | B145 | | | 日本電子株式会社 | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (1677K)] |
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| | ?. 6 STM-AES · XMA(Scanning Tunneling Microscopy - Auger Electron Spectroscopy · X-ray Micro Analysis)における特性X線エネルギーおよびオージェ電子エネルギーの解析 |
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| | | | STM-AES·XMAにおける特性X線エネルギーおよびオージェ電子エネルギーの解析 | B187 | | | 委託研究(大阪大学) | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (193K)] |
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| | ? 超精密加工 · 成膜システムの開発 |
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| | ?. 1 プラズマ CVM(Chemical Vaporization Machining) |
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| | | | プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining) | B197 | | | プラズマCVM応用技術研究会, プラズマCVM応用技術研究会, 兵庫県立工業技術センター, 明昌機工(株), 大阪富士工業(株), プラズマCVM応用技術研究会 | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (6919K)] |
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| | ?. 2 EEM(Elastic Emission Machining) による超精密加工法の開発 |
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| | | | EEM(Elastic Emission Machining)による超精密加工法の開発 | B349 | | | 委託研究(大阪大学), 大阪工業技術研究所, セントラル硝子株式会社, 光洋精工株式会社 | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (3288K)] |
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| | ?. 3 大気圧プラズマ CVD(Chemical Vapor Deposition) による高速成膜 |
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| | | | 大気圧プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)による高速成膜 | B429 | | | 日本ピラー工業株式会社 | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (2210K)] |
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| | ? 表面計測評価システムの開発 |
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| | ?. 1 STM-AES · XMA(Scanning Tunneling Microscopy - Auger Electron Spectroscopy · X-ray Micro Analysis)の開発 |
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| | ?. 2 レーザー光散乱法によるナノメータオーダーの微粒子計測および表面評価システムの開発 |
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| | | | レーザー光散乱法によるナノメータオーダーの微粒子計測および表面評価システムの開発 | B541 | | | 日本分光株式会社 | | | 公開日: 27-Dec-2001 | | [Image PDF (2453K)] |
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| | ?. 3 微小突起をプローブとした走査型近接場光学顕微鏡の開発 |
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