 | 高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
高出力パルスレーザーを用いた超鏡面精密洗浄技術の開発と機能性薄膜の創成
高機能硬質膜のレーザー表面加工・改質技術の開発
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| | 安丸 尚樹1), 木内 淳介2), 宮崎 健創3) |
| 1) 福井工業高等専門学校
2) アイテック(株)
3) 京都大学 |
| Abstract ・フェムト秒レーザーによる表面ナノ加工技術の開発
フェムト秒レーザーをDLC等の硬質薄膜に照射することにより,レーザー波長の1/10〜1/5サイズの周期的微細構造(ナノ構造)を薄膜表面に形成し,波長・偏光・フルーエンスによりその形状・サイズを制御するナノテク技術を開発した.
・フェムト秒レーザーによる表面改質技術の開発
フェムト秒レーザーをDLC膜に照射することにより,DLC膜を導電性・耐熱性に優れたガラス状炭素(GC)に改質する方法を開発した.
・ナノ加工用フェムト秒レーザーシステムの開発と応用研究
ナノ加工用フェムト秒レーザーシステムを開発し,ナノ構造を大面積化(10cm×10cm)する技術を確立した.さらにナノ加工と固体潤滑膜(MoS2)を複合化した3次元レーザー改質法を開発し,ナノ〜マクロ領域のドライ環境下で,優れたトライボロジー特性を示すことを実証した. |
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