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平成12年度事業開始
福井県　「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」  274-287
高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
高出力パルスレーザーを用いた超鏡面精密洗浄技術の開発と機能性薄膜の創成
高機能硬質膜のレーザー表面加工・改質技術の開発
安丸 尚樹, 木内 淳介, 宮崎 健創

1) 安丸尚樹, 宮崎健創, 木内淳介: 「超短パルスレーザーを用いた微細加工方法およびその加工物」特願2002-012391 (2002), 特開2003-211400 (2003).
2) 安丸尚樹, 宮崎健創, 木内淳介: 「フェムト秒レーザーによるTiN膜表面のナノ構造形成」レーザー学会第22回年次大会予稿集 (2002年1月), p. 105.
3) N. Yasumaru, K. Miyazaki, J. Kiuchi, and H. Magara: "Femtosecond-Laser-Induced Nanostructures Formed on Hard Coatings of TiN and DLC", Technical Digest of Int. Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2002), Osaka, May, 2002, p. 38, Proc. of SPIE, Vol. 4830, pp. 521-525, 2003.
4) N. Yasumaru, K. Miyazaki and J. Kiuch: "Femtosecond-Laser-Induced Nanostructures Formed on Hard Thin Films of TiN and DLC", Appl. Phys. A, Vol. 76, No. 6, pp. 983-985, 2003.
5) 安丸尚樹, 宮崎健創, 木内淳介: 「レーザーによる硬質薄膜表面の周期的ナノ構造の形成と制御」レーザー学会第316回研究会報告レーザープロセシング, No. RTM-03-36, pp. 31-35, 2003.
6) 安丸尚樹, 宮崎健創, 木内淳介: 「炭素薄膜構造並びに炭素薄膜の加工方法および製造方法」特願2003-368423 (2003), 特開2005-133129 (2005).
7) N. Yasumaru, K. Miyazaki and J. Kiuch: "Glassy carbon layer formed in diamond-like carbon films with femtosecond laser pulses", Appl. Phys. A, Vol. 78, pp. 425-427, 2004.
8) K. Miyazaki, N. Maekawa, W. Kobayashi, N. Yasumaru and J. Kiuchi: "Reflectivity in femtosecond-laser-induced structural changes of diamond-like carbon film", Appl. Phys. A, Vol. 80, pp. 17-21, 2005.
9) N. Yasumaru, K. Miyazaki and J. Kiuch: "Fluence dependence on femtosecond-laser-induced nanostructure formed on TiN and CrN", Appl. Phys. A, Vol. 81, pp. 933-937, 2005.
10) 安丸尚樹, 宮崎健創, 木内淳介: 「フェムト秒レーザーによる硬質薄膜表面のナノ構造形成と制御」, レーザー研究(レーザー解説小特集号「フェムト秒レーザーによるナノアブレーション」), Vol. 33, pp. 519-524, 2005.
11) See, e. g., D. Bäuerle: Laser Processing and Chemistry (Springer, Berlin, 1996) Chap. 28.
12) J. Reif, F. Costache, M. Henyk, and S. V. Pandelov: "Ripples revisited: non-classical morphology at the bottom of femtosecond laser ablation craters in transparent dielectrics", Appl. Surf. Sci., Vol. 197-198, pp. 891-895 and references therein.