 | 高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
高出力パルスレーザを用いた長寿命HIDランプの創成
レーザ応用表面改質装置および長寿命HIDランプの開発
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| | 1) 増永眼鏡
2) 福井工業高等専門学校
3) 福井大学 |
| Abstract (1) 高温度ハロゲン化金属蒸気に対する保護膜の創生
石英基板へのSiC保護膜作成と、沃化スカンジウム・沃化ナトリウム混合蒸気下での高温加速反応試験の結果、再実験含めて保護機能が確認された。
(2) レーザアブレーションを用いた炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミなどの管球内面への成膜技術の開発
管球表面からレーザビームを透過導入し、ターゲットに照射、アブレーションによる成膜方法および電極封止管を介したビーム導入法によるレーザアブレーション成膜の二つの方法による基礎試験を行った。
(3) レーザアブレーションによる管球内面保護膜作成装置の開発
電極封止管を介したビーム導入法によるレーザアブレーション成膜装置の製作を行った。
(4) 上記結果を踏まえて、HID発光管へのSiC膜、Si3N4膜、AIN膜の成膜と評価を行った結果、保護機能が低いことが判明、他への応用展開を図ることとした。 |
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