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平成11年度事業開始
熊本県 「超精密半導体計測技術開発(別冊:新技術・新産業の創出に関する報告)」
pp.65-71
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引用文献
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液晶輝度ムラ検査装置開発
田口 智弘
1)
, 山川 昇
1)
, 大隈 義信
2)
, 上村 直
2)
, 大隈 恵治
2)
, 黒木 卓也
3)
, 小山 善文
4)
1) 櫻井エンジニアリング(株)
2) オオクマ電子(株)
3) 櫻井精技(株)
4) 熊本電波高専
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