| | | TOP > 巻一覧 > 目次一覧 > 書誌事項
| 平成11年度事業開始
熊本県 「超精密半導体計測技術開発（別冊：新技術・新産業の創出に関する報告）」 pp.37-41 |
| | [PDF (106K)] [引用文献] |
 | | | 神立 信一1), 金沢 守道1), 石松 賢治2), 鈴木 幸三朗3), 長畑 博之4), 松藤 秀史4), 佐々木 守5), 福迫 武6) |
| 1) ルネサステクノロジ
2) 熊本県工業技術センタ−
3) 東京カソード研究所
4) サンユー工業
5) 広島大学
6) 熊本大学 |
| | | | | |
| Copyright (c) 2005 独立行政法人 科学技術振興機構 |
|
| |
