平成11年度事業開始 熊本県　「超精密半導体計測技術開発（別冊：新技術・新産業の創出に関する報告）」  pp.25-29

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ステージ軽量化技術開発 森山 司朗1), 佐々木 俊一1), 廣瀬 正孝1), 小坂 光二2), 岩渕 哲也2), 石井 守3), 梅津 基宏3), 東町 高雄4), 久保田 弘5), 大見 忠弘6) 1) 株式会社日本セラテック 2) 有限会社熊本テクノロジー 3) 太平洋セメント株式会社 4) くまもとテクノ産業財団 5) 熊本大学 6) 東北大学

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