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平成14年度事業開始
高知県 「次世代情報デバイス用薄膜ナノ技術の開発」
39-40
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ZnO-TFT技術の開発
1-1 ZnO-TFT技術の開発
平尾 孝
1)
, 古田 守
1)
, 李 朝陽
1)
, 古田 寛
1)
, 松田 時宜
1)
, 平松 孝浩
2)
1) 高知工科大学 総合研究所
2) 高知カシオ（株）
Abstract
コア研究室が所有するZnO 薄膜形成技術、TFT プロセス技術と、カシオ計算機が有する非晶質シリコン（a-Si:H）TFT 実用化技術·液晶ディスプレイ技術を融合し、高移動度ZnO-TFT の量産プロセスの開発、ディスプレイデバイスの事業化を行なう。
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