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平成12年度事業開始
福井県 「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」
99-100
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高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
単結晶シリコン基板表面のレーザ光洗浄法の基礎解析
太田 泰雄
1)
, 大橋 健
2)
, 津森 俊宏
2)
1) 福井工業高等専門学校
2) 信越化学工業(株)
Abstract
織布研摩による超鏡面単結晶シリコン基板の創成
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