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| 平成12年度事業開始
福井県 「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」 97-98 |
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 | 高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
高密度薄膜磁性媒体の開発のためのスパッタ条件などの探索
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| | 太田 泰雄1), 北浦 守1), 米田 知晃1), 中川 茂樹2) |
| | | Abstract レーザを用いて表面洗浄を行い、薄膜磁性媒体を成膜するスパッタリング装置を開発し、実用化を目指す。また、レーザ洗浄、成膜の諸条件を調べる。 |
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