| | TOP > 巻一覧 > 目次一覧 > 書誌事項 | 平成12年度事業開始 福井県 「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」 97-98 |
| [PDF (21K)] | | 高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究 高密度薄膜磁性媒体の開発のためのスパッタ条件などの探索
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| 太田 泰雄1), 北浦 守1), 米田 知晃1), 中川 茂樹2) |
| | Abstract レーザを用いて表面洗浄を行い、薄膜磁性媒体を成膜するスパッタリング装置を開発し、実用化を目指す。また、レーザ洗浄、成膜の諸条件を調べる。 | | | | Copyright (c) 2006 独立行政法人 科学技術振興機構 |
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