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| 平成12年度事業開始
福井県 「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」 91-92 |
| | [PDF (14K)] |
 | 高輝度光ビーム加工技術に関する研究
UVレーザ光による微細加工技術の開発
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| | 冨田 誠一1), 青柳 裕治2), 宮崎 孝司2) |
| 1) (株)松浦機械製作所
2) 福井県工業技術センター |
| | Abstract 次世代の超小型・高集積電子基板に対し，短波長の紫外線レーザ光を用いた高精度・高品質な微細穴あけ加工の技術開発を行う。 |
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| Copyright (c) 2006 独立行政法人 科学技術振興機構 |
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