JST200303 : 平成12年度事業開始<br>福井県　「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」 75-76

平成12年度事業開始
福井県　「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」 75-76

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高輝度光ビーム加工技術に関する研究
高感度・高速アブレーション分光計測技術の開発

冨田誠一¹⁾, 香川喜一郎²⁾

1) (株)松浦機械製作所
2) 福井大学教育地域科学部

Abstract パルスレーザ加工における材料表面の加工状態は、同時に発生するレーザプラズマの特性と密接な関係がある。このことを利用して、光学的及び電磁気学的方法により、リアルタイムで加工状態をモニタリングする技術の開発をおこなった。