 | 高輝度光ビーム加工技術に関する研究
ナノ秒パルスYb:YAGレーザによるフォトンマシニングセンタの開発 (フェーズI)
Yb:YAGレーザによるフォトンマシニングセンタの開発 (フェーズII)
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| | 冨田 誠一1), 田中 隆三1), 市村 誠1), 岩井 善郎2), 竹下 晋正2) |
| 1) (株)松浦機械製作所
2) 福井大学 工学部機械工学科 |
| | Abstract 従来には無い新しいコンセプトの多機能フォトンマシニングセンタの開発を目的とし、各種レーザによる加工技術の研究を実施し、その加工技術を応用した3機種の多機能フォトンマシニングセンタ(金属光造形複合加工機，精密フラットパネル材料ドライエッチング加工装置，超短パルスレーザ援用光ナノ加工・改質装置)を開発した。 |
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