JST200303 : 平成12年度事業開始<br>福井県　「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」 58-59

高輝度Yb:YAG固体レーザ技術に関する研究
Yb:YAGレーザの性能評価

平等拓範¹⁾, 片岡俊彦²⁾

1) 分子科学研究所
2) 大阪大学

Abstract 試作された新型レーザの実用化の可否について判断するため、ナノ加工への応用を念頭に置き、それを遂行する上でレーザの具備すべき性能を探査する。同時に、その結果を高輝度Yb:YAG固体レーザ開発のための技術支援として役立てる。具体的には、市販されているフェムト秒チタンサファイヤレーザによる多光子吸収を利用して、光硬化性樹脂を原料にナノ構造を持つ微小物体の作製を試みる。本研究では近年進展の著しい近接場光学顕微鏡(SNOM)の高分解能プローブの作製をその対象とする。