 | 高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
レーザ誘起光化学反応を用いた選択薄膜成長技術の開発
有機金属原料およびV族元素水素化物原料の光化学反応過程に関する研究
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| | 山本 あき勇1)2), 橋本 明弘2), 高山 勝己3) |
| 1) (財) ふくい産業支援センター
2) 福井大学
3) 福井高専 |
| Abstract NH3のレーザ誘起光分解反応を利用した窒化物の低温薄膜成長技術の開発を目的として研究を進め、下記の成果を得た。
・ArFエキシマレーザ誘起低温薄膜成長技術および装置を開発した。
・低温成長InNOx膜が優れた光触媒活性(脱臭効果)を有することを見出した。 |
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