 | 高輝度光ビーム加工技術に関する研究
レ−ザアブレーション機構と最適加工条件の解明
高感度・高速アブレーション分光計測技術の開発
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| | | | Abstract リアルタイムで短パルスレーザ加工をモニタリングする方法を、光学的方法と電磁気学的方法を用いて検討した。光学的方法では半導体レーザ(650nm, 200mW)と干渉フィルターを組み合わせることによって加工表面をリアルタイムで観察する方法を提案した。また、広帯域OMAを用いたスペクトル測定、および小型分光器と高速応答光電子増倍管を用いたプラズマ発光の時間変化測定を行い、これらがレーザ加工のモニタリングとして有効であることを示した。電磁気学的方法として、レーザプラズマに電界を作用させ、高密度プラズマの外に染み出た電子を誘導電流として計測する新しい方法を提案した。電磁気学的方法は、室内光やレーザ光の妨害を受けることがなく、モニタリング方として優れていることを確認した。これら光学的方法と電磁気学的方法を組み合わせ、実際にレーザ加工モニタリングシステムのプロトタイプを試作し、その有効性を実証した。 |
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