JST200303 : 平成12年度事業開始<br>福井県　「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」 197-213

高輝度Yb:YAG固体レーザ技術に関する研究
高出力・短パルスYb:YAGレーザの開発
高出力超短パルスレーザ増幅器の開発

末田敬一¹⁾, 川戸栄²⁾

1) ふくい産業支援センター
2) 福井大学

Abstract Yb:YAGが高出力・高効率連続光(CW)発振および超短パルスレーザ発振の利得媒質として期待されているが、産業用に超微細加工、高速・高精度加工用レーザの開発を目的としてLD励起薄型スラブ型Yb:YAG超短パルスレーザの増幅器開発を行った。高密度励起および高冷却効率が可能なYb:YAGレーザ増幅モジュールを試作し、高出力かつ高効率CWおよび超短パルス動作を実現した。