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| 平成12年度事業開始
福井県 「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」 142-143 |
| | [PDF (15K)] |
 | 高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
高速・高耐熱の薄膜半導体の開発
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| | 太田 泰雄1), 岡本 崇司2), 橋本 明弘3) |
| 1) 福井工業高等専門学校
2) 株式会社サーマルプリンタ研究所
3) 福井大学工学部電気電子工学課 |
| | Abstract ダイヤモンド、GaNを使用した際の成膜評価、基板薄膜作成ベース基板材料、接着材料の検討 |
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