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平成12年度事業開始
福井県 「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」
136-137
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高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
第III族金属窒化物による薄膜創成の開発
太田 泰雄
1)
, 南保 幸男
2)
1) 福井工業高等専門学校
2) 日華化学(株)
Abstract
GaN、InN薄膜等のセンサー素子としての機能性付与と低温化条件の検討
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