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平成12年度事業開始
福井県 「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」
133
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高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する開発
金属酸化物での薄膜創成と化学的機能性の解析
太田 泰雄
1)
, 南保 幸男
2)
1) 福井工業高等専門学校
2) 日華化学(株)
Abstract
アモルファスTiOx、SiOx酸素欠損型膜の低温コーティング加工
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