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平成12年度事業開始
福井県 「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」
130
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高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する開発
高機能硬質膜の化学的評価
太田 泰雄
1)
, 南保 幸男
2)
1) 福井工業高等専門学校
2) 日華化学(株)
Abstract
金属薄膜TiO2、SiO2膜の薄膜機能性評価
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