JST200303 : 平成12年度事業開始<br>福井県　「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」 120-121

平成12年度事業開始
福井県　「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」 120-121

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高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
スパッター法による創生薄膜の表面観察評価 (フェーズI)
スパッター法およびレーザアブレーション法によるHID用保護膜の評価 (フェーズII)

太田泰雄¹⁾, 野口英彦²⁾

1) 福井工業高等専門学校
2) ハリソン東芝ライティング

Abstract レーザアブレーションを用いた管球内面への製膜装置の開発、膜評価およびその製膜技術を用いて長寿命のHIDランプを開発する。