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| 平成12年度事業開始
福井県 「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」 118 |
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 | 高出力パルスレーザを用いた超鏡面精密洗浄技術の開発と機能性薄膜の創成
表面性能の微視的解析
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| | 太田 泰雄1), 高岡 清彦2), 真柄 宏之2), 野村 光司2) |
| 1) 福井工業高等専門学校
2) 福井県工業技術センター |
| | Abstract 電子線3次元形状測定機を用い、微細加工面や表面処理面の凹凸表面状態の微視的解析を行う。 |
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