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平成12年度事業開始
福井県 「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」
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高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
表面処理の多元評価

太田 泰雄1), 高岡 清彦2), 真柄 宏之2), 野村 光司2)
1) 福井工業高等専門学校
2) 福井県工業技術センター
Abstract  多層膜組成分析装置により、複雑な層構造を有する多層めっきの合金組成、膜厚などの解析を迅速に行う

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