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平成12年度事業開始
福井県 「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」
109-110
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高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
短パルス高強度レーザーによる機能性硬質膜制御技術の研究
太田 泰雄
1)
, 宮崎 健創
2)
1) 福井工業高等専門学校
2) 京都大学
Abstract
硬質膜加工のためのフェムト秒レーザー開発と硬質膜表面のレーザー誘起ナノ構造生成過程の研究
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