 | 高輝度光ビームによる薄膜形成技術に関する研究
高機能硬質膜のレーザ表面加工・改質技術の開発
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| | 太田 泰雄1), 安丸 尚樹1), 木内 淳介2), 宮崎 健創3) |
| 1) 福井工業高等専門学校
2) (株)アイテック
3) 京都大学エネルギー理工学研究所 |
| | Abstract フェムト秒レーザを難加工性硬質薄膜(TiN・DLC等)に照射することにより、レーザ波長の1/10〜1/5サイズの周期的微細構造(ナノ構造)を薄膜表面に形成し、波長・偏光・フルーエンスによりその形状・サイズを制御する技術やDLC膜表面をガラス状炭素(GC)に改質する方法を開発した。 |
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