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平成11年度事業開始
熊本県 「超精密半導体計測技術開発」
  pp.55-56
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計測技術開発
高速LSIテスト

神立 信一1), 佐々木 守2), 福迫 武3), 石松 賢治4), 金沢 守道1), 長畑 博之5), 鈴木 幸三郎6)
1) ルネサステクノロジ(株)
2) 広島大学
3) 熊本大学
4) 熊本県工業技術センター
5) サンユー工業
6) (株)東京カソード研究所
Abstract  ネットワーク、電子機器の高速化に伴い、LSIのI/Oインタフェースのデータ転送速度が2.5Gビット/秒とこ倍の速度である。このような高速LSIのI/Oを低コストでテストする方法を提案する。
・LSIの中に高速I/Oを評価する回路を組み込み、ループバックパスを配置したテストボード上にLSIを配置する。LSIからテスト信号を送信し、ループバックパスを介して信号を戻し、同じLSIで受信し、その合否を判定する方式である。この方法では、半導体工場にある既存のテスタを使用することができる。研究では、高速I/Oとそれをテストする回路を内蔵するLSIを試作し、半導体工場内で実際にI/Oのテストを行い、提案するテスト方式の有効性を検証する。
・高速なディジタル信号が伝送可能なプローブカードを開発する。同軸構造を持つフレキシブルなプローブカードを設計、試作し、5Gビット/秒のデジタル信号が伝送できることを確認する。
・LSIテストボードで使用する高周波リレー(RFリレー)を2.5Gビット/秒に対応したリレーを開発する。

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