JST200303 : 平成11年度事業開始<br>熊本県　「超精密半導体計測技術開発」 pp.54-55

計測技術開発
3次元形状計測手法開発

山崎裕一郎¹⁾, 鈴木等²⁾, 阿部和夫²⁾, 木村浩二²⁾, 鶴我靖子²⁾, 岡田真一²⁾, 小坂光二³⁾, 中田明良⁴⁾

1) (株)東芝セミコンダクター社
2) (株)トプコン
3) (有)熊本テクノロジー
4) 熊本大学

Abstract 電子ビーム3次元形状計測手法の開発。70nm Technology Nodeに対応できる3次元形状計測技術を開発する。具体的には、T-MOL要素技術の確立、3次元形状計測アルゴリズムの開発およびその精度検証を行う。