TOP > 巻一覧 > 目次一覧 > 書誌事項


平成11年度事業開始
熊本県 「超精密半導体計測技術開発(別冊:新技術・新産業の創出に関する報告)」
  pp.81-91
[PDF (138K)] [引用文献


微細加工・計測技術開発
中村 一光1), 森本 達郎1), 久保田 弘2), 中田 明良2), 赤道 孝之2), 井口 恒夫3), 占部 憲治3), 小坂 光二4), 小坂 哲也4), 馬場 哲朗4), 藤井 敏夫5), 相川 創5), 高山 由則6), 鈴木 信二7), 若杉 雄彦8), 中村 博文9)
1) くまもとテクノ産業財団
2) 熊本大学
3) ソニーセミコンダクタ九州(株)
4) (有)熊本テクノロジー
5) テクノス(株)
6) (株)プレシード
7) ウシオ電機(株)
8) (株)ロジックリサーチ
9) 凸版NECサーキットソリューションズ

[PDF (138K)] [引用文献

Copyright (c) 2005 独立行政法人 科学技術振興機構