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平成11年度事業開始
熊本県 「超精密半導体計測技術開発（別冊：新技術・新産業の創出に関する報告）」
pp.73-80
膜厚ムラ検査装置開発
藤井 敏夫, 相川 創, 久保田 弘, 中田 明良, 羽山 隆史, 森川 晃次, 新庄 信博, 小山 善文, 井上 知行, 宮川 隆二, 北野 高広
(1) 特許 2202-351674 多角画像取得方法, その装置及びそのプログラム
