平成11年度事業開始 熊本県　「超精密半導体計測技術開発（別冊：新技術・新産業の創出に関する報告）」  pp.73-80

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膜厚ムラ検査装置開発 藤井 敏夫1), 相川 創1), 久保田 弘2), 中田 明良2), 羽山 隆史2), 森川 晃次2), 新庄 信博2), 小山 善文3), 井上 知行4), 宮川 隆二5), 北野 高広6) 1) テクノス株式会社 2) 熊本大学大学院 自然科学研究科 3) 電子応用機械技術研究所 4) 株式会社アラオ 5) 熊本県工業技術センター 6) 東京エレクトロン九州株式会社

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