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平成11年度事業開始
熊本県 「超精密半導体計測技術開発(別冊:新技術・新産業の創出に関する報告)」
pp.19-24
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高出力圧電素子技術開発
宮田 昇
1)
, 松野 晋
1)
, 渡邉 雅幸
1)
, 萬矢 晃庸
1)
, 小坂 光二
2)
, 馬場 哲郎
2)
, 岩渕 哲也
2)
, 中田 明良
3)
, 久保田 弘
3)
1) 太平洋セメント
2) 熊本テクノロジー
3) 熊本大学
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