 | 高配向カーボンナノチューブのサンプル製造
合成プロセス技術及びガス供給システムの開発
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| | | Abstract 大量合成装置の設計に必要なガスパラメータ (水分、酸素、キャリヤガス種) を選定し、ガスパラメータを高度に管理できる小型CVD装置の設計・製作とCVDの基礎実験を行いガスパラメータの影響調査を行った。
「配向CNT高速合成装置 (平成17年度に導入)」を用いてCVD条件の中でガスプロセスの最適化を実施した。また、触媒、ガスパラメータ条件を基にロープ作製可能な高配向CNTを合成可能な条件解明を行い、「配向CNT高速合成装置」を用いてロープ作製可能な高配向CNTの合成を目指した。 |
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