 | 高輝度放射光による局所評価技術の開発
マイクロビーム光電子分光技術の開発
(集光光学系を用いた硬X線光電子分光法の開発)
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| | 1) 放射光ナノテク研究所
2) コア研究室
3) (財) 高輝度光科学研究センター |
| | Abstract Si-LSIを初めとする2次元3次元ナノ構造を持ったデバイスの研究開発に資することを第一の目的にした3次元化学状態走査硬X線光電子顕微鏡を開発する。すなわち、SPring-8のX線アンジュレーターからの6kev-10kevの高輝度高度単色化収束硬X線を試料表面に照射し、その脱出角依存性から深さ方向の化学状態分布を知る。さらに試料を2次元走査する事により、化学状態の3次元分布を知ることが出来き、高精密深さ方向の化学状態分布測定法を確立する。 |
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