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平成14年度事業開始
高知県 「次世代情報デバイス用薄膜ナノ技術の開発」
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紫外LED技術の開発
4-1-3 紫外LED技術の開発
平尾 孝
1)
, 尾浦 憲治郎
2)
1) 高知工科大学 総合研究所
2) 大阪大学大学院 工学研究科
Abstract
単結晶ZnO基板を用いて紫外LEDを形成するために重要な、表面処理技術の開発を行なう。
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