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平成14年度事業開始
高知県 「次世代情報デバイス用薄膜ナノ技術の開発」
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ZnO-TFT技術の開発
1-5 ZnO-TFT技術の開発

平尾 孝1), 橋本 清文2), 八木 司2), 石田 耕一2), 泉 倫生2), 宮井 三嘉2), 増田 敏2)
1) 高知工科大学 総合研究所
2) コニカミノルタテクノロジーセンター(株)デバイス技術研究所
Abstract  省電力·軽量·可搬性に優れた電子ペーパーの基本技術を確立する。150 度以下のプラスチック基板対応プロセスで作製した酸化亜鉛TFT アレイと、反射型でメモリー性を有するカイラルネマチック液晶とで構成した表示デバイスを試作し、実用可能性を検討する。

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