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平成14年度事業開始
高知県 「次世代情報デバイス用薄膜ナノ技術の開発」
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ZnO-TFT技術の開発
1-3 ZnO-TFT技術の開発
平尾 孝
1)
, 藤井 浩之
2)
, 近森 博之
2)
1) 高知工科大学 総合研究所
2) 高知カシオ（株）
Abstract
ZnO-TFTの開発、そのための信頼性評価および量産プロセスの課題抽出。
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