 | 超高密度磁気記録評価装置の機構と評価
高密度磁気記録評価装置の精密位置決め機構と制御系の開発 (1)
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| | 渋谷 嗣1), 大日方 五郎2), 長縄 明大1) |
| 1) 秋田大学工学資源学部
2) 名古屋大学先端技術共同研究センター |
| | Abstract a.有限要素法により、従来の2倍以上の共振周波数、あるいは拡大変位量を実現する微動アクチュエータの設計を行う。また微動アクチュエータを高速高精度に位置決めするため、PIDゲイン決定公式の導出とその実機検証を行う。b.同時最適設計手法により、微動アクチュエータの形状最適化と拡大変位量の向上について検討する。 |
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