JST200303 : 平成12年度事業開始<br>秋田県　「次世代磁気記録技術と脳医療応用技術開発」 77-78

次世代記録メディア材料
磁気力顕微鏡の高分解能化および微細膜構造解析法の開発

有明順¹⁾, 石尾俊二²⁾, 斉藤準²⁾

1) 秋田県産業技術総合研究センター
2) 秋田大学工学資源学部

Abstract 垂直・面内磁場中磁気力顕微鏡を開発し、高密度磁気記録媒体の記録状態や記録のノイズを含む微細膜構造を解析する手法を提案した。また、超高密度を実現する薄膜の微細膜構造を明らかにするには10nm以下の高空間分解能が必要となるので、空間分解能7nmの達成を目標とした低ノイズ化のためのシステムの検討と高分解能探針の開発を行った。最後に、得られた成果の事業化とフェーズIIIに展開するための、磁気スィチング・ダイナミックス評価装置の開発を開始した。