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平成12年度事業開始
秋田県 「次世代磁気記録技術と脳医療応用技術開発」
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超高密度記録メディア
膜構造制御による低ノイズCo-Cr系垂直磁気記録メディアの開発 (2)

有明 順1), 青山 隆2), 小宮山 崇夫2)
1) 秋田県産業技術総合研究センター
2) 秋田県立大学電子情報システム学科
Abstract  スパッタ成膜法における高分解能観察により膜堆積のメカニズムを明らかにしメディア開発へのフィードバックを行う。

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