 | 超高密度記録メディア
膜構造制御による低ノイズCo-Cr系垂直磁気記録メディアの開発 (1)
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| | | Abstract フェーズＩ
Co-Cr系垂直二層膜媒体において、記録層と軟磁性裏打ち層との間に中間層を導入することで、記録層の磁気特性、結晶性を制御し、記録特性、熱安定性の高い媒体を作製した。また、軟磁性裏打ち層として高飽和磁化を有するFe-Siを検討した。媒体として重要な表面性にも考慮した媒体設計を行なった。
フェーズII
より低ノイズメディアを目指し、CoPrCr-SiO2二層膜メディアを検討した。記録層、中間層などのプロセス条件を詳細に検討することで、面記録密度300Gbit/in2のCo-Pt-Cr合金系グラニュラー構造垂直磁気記録メディアを開発し、実用化企業への試作品提供を図る。また、磁気異方性の大きなCo-Ptグラニュラー構造薄膜材料による高密度記録メディアの可能性を明らかにする。さらに、1Tbit/in2級記録を目指したパターンドメディアの作製をFIB加工で行ない、確立した設計指針を検証する。 |
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