 | 超高密度磁気記録評価装置の機構と評価
高密度磁気記録評価装置の精密位置決め機構と制御系の開発 (2)
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| | 渋谷 嗣1), 森 英季2), 菅谷 公志3), 干野 隆之3) |
| 1) 秋田大学工学資源学部
2) 秋田県産業技術総合研究センター
3) (財)あきた企業活性化センター |
| | Abstract 2.5inch以上のHDD対応の動作範囲を有しながら、0.1nmの繰り返し位置決め精度を実現する直動型の空気軸受けと同じく直動型のVCM(Voice Coil Motor)を組み合わせたLinear Actuator(LAB1+MC2)と積層型圧電素子と変位拡大機構を組み合わせ、磁気記録再生評価装置 (Spin-stand)に搭載されて、11.5μmの動作範囲を有しながら3σ(正規分布上の確立で99%)で0.1nmを実現するNano-motion Actuator(NMA)の2種類の高速・高精度アクチュエータの研究を行った。AIT，名古屋大学，秋田大学，小林工業(株)及び協同電子システム(株)と共同で研究開発したNMAは、実際のSpin-standにPiggyback actuatorとして搭載され、位置決め誤差±1nmで実用化された。また国内HDD(Hard Disk Drive)メーカーの量産用磁気ヘッド試験機に採用された。 |
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