 | 高感度・高空間分解能MI効果型高周波磁界検出素子の開発
H15年度産業技術研究助成事業
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| Abstract 1. 現在、電子回路から生じる不要電磁輻射が大きな問題となっているが、これを高感度に検出可能な手法は確立されていない。その手段として、高感度磁界検出が可能なMI磁界センサが有力な候補であるが、従来のMI磁界センサは主にMHz帯キャリア駆動で用いられ、GHz帯信号の検出は困難であった。従来のMI磁界センサをGHz帯キャリア駆動で用いた場合、非常に高いバイアス磁界が必要となり且つ感度の低下が生じていた。
2. 高感度であることを特徴とするMI磁界センサに対し、ミクロンオーダーの細線化磁性体線路部分を用いることにより、1KA/m以下の低バイアス磁界でのGHzキャリア駆動によるGHz帯高周波磁界信号の検出に成功した。
3. これをもとに、電子回路における不要電磁波の検出が可能な高感度・高空間分解能、高周波磁界センサ素子の実現及びこれを用いたプローブの作製を目指す。 |
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