 | 超高密度フォトン利用実証レーザーシステムの開発
超高密度フォトン反応制御技術の開発
応用のための計測・制御技術の開発
非熱加工のための計測・制御 〜 加工のモニタリング (フェーズI, II)
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| | 青島 紳一郎1), 神谷 眞好1), 伊藤 晴康1) |
| | | Abstract フェムト秒レーザーによる微細加工において、ターゲットからの反射光と、予め分岐しておいた参照光との干渉スペクトルを分光解析することにより、加工中の孔深度をリアルタイムでモニタリングできる技術を開発した。これにより、制御性の高い微細レーザー加工が可能となった。また、モニタリング技術の応用分野の拡大や実用化の促進を図るため、リアルタイム孔深度モニターのプロト機を試作し、高性能化と高機能化を行った。さらに、プロト機とフェムト秒レーザー光源とを組み合わせて、経皮薬物送達システム(TDS)用の新しい担体(マイクロニードルシート)作製等への応用可能性を検討し、リアルタイム孔深度モニターの有効性を実証した。 |
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