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平成12年度事業開始
静岡県 「超高密度フォトン産業基盤技術開発」
  116-117
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新規産業開発研究
地域産業育成探索/実証研究(地域負担関連研究)
地域光産業振興に関する研究
半導体レーザー光整形技術の開発

山下 清光1)
1) 浜松工業技術センター
Abstract  YAGレーザーやCO2レーザー等の従来の加工用レーザーによるレーザー加工では、加工の品質を向上させるには、レーザーのビーム断面強度分布がガウシアン分布に近いことが良いとされてきた。
半導体レーザー(以後、LD)は、従来の加工用レーザーと比べ、エネルギー効率が高いなど産業用途として大きな利点がある。しかし、放射されるビーム形状に特異性があり、エネルギーを集中させる集光技術が今まで課題とされてきた。
一方、レーザー加工は、ビームが高エネルギー密度で深度の必要な加工ばかりではなく、一度に広範囲のレーザー照射を必要とする加工もある。LDはそのような加工に向いたレーザーであると考えられる。広面積加工のためにビームを整形する技術は重要な技術であると考えられる。そこでLDのビーム形状の特異性に着目し、ビーム整形技術の開発を行った。

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