 | 新規産業開発研究
先導的探索/実証研究
レーザーによる高機能加工〜時間空間制御されたレーザーパルスによる加工の研究
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| | 土屋 裕1), 青島 紳一郎2), 沖原 伸一朗1), 伊藤 晴康2), 浦上 恒幸2) |
| 1) 光産業創成大学院大学
2) 光科学技術研究振興財団 |
| | Abstract 「時間空間制御されたレーザーパルスによる加工の研究を実施し、波形制御によって、加工の効率を向上できる可能性があることを明らかにした。また、超高密度フォトン利用実証レーザーシステム」の実例として、「光源を含むコンパクトフェムト秒レーザー加工機」を構築し、化合物半導体上のインジウム電極の加工を実施し、産業応用の可能性があることを明らかにした。以上、時間空間制御されたレーザーパルスによる加工の研究を実施し、新規産業創出のための基盤技術を開発することができた。 |
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