超高密度フォトン利用実証レーザーシステムの開発
超高密度フォトン反応制御技術の開発
応用のための計測・制御技術の開発
フェムト秒レーザー加工における飛散物の振る舞いの研究
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| 青島 紳一郎1), 齋藤 隆之2), 大石 真吾1) |
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1) 光科学技術研究振興財団
2) 静岡大学工学部機械工学科 |
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Abstract 本研究は、平成17年度のみ実施した。フェムト秒レーザー照射時の被加工物からの飛散物の振る舞いを計測して解析する方法について検討し、方針の決定と必要機材の選定と手配を実施した。導入した高速ビデオカメラを用いて撮影して、解析により飛散物の粒径、速度などを明らかにでき、実用化するに充分な成果を得ることができた。
フェムト秒レーザー加工の研究において、アシストガスの有無によって加工結果が大きく異なることが明らかになってきた。実用化には、アシストガスの有無によって、加工結果が異なるメカニズムを明らかにすることが重要である。そこで、フェムト秒レーザー照射時の被加工物からの飛散物を可視化して、その振る舞いを計測して解析する。 |
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