| 超高密度フォトン利用実証レーザーシステムの開発 LDを用いた高強度フェムト秒レーザーの開発 高性能化の研究 加工のためのレーザー開発
|
| | | Abstract 従来のナノ秒レーザー装置では、金属材料を穴あけ加工した後に穴の周辺に盛上りが残るなどの悪い仕上りとなっている。それを解決するため、Nd:YAGパルスレーザーの基本波(1064nm)、第2高調波(532nm)と第3高調波(355nm)を同時に出力できる多波長・多重パルスレーザー装置を開発した。まず、単波長シングルパルスレーザーの金属薄板の穴あけ加工実験を行うことによって、各種金属材質におけるレーザー加工状況を把握した。更に、新規レーザー加工方法を模索して、各波長の出力の混合比やパルス形状など、材料ごとにレーザー側の最適化を行った。具体的には、レーザー出力の多重パルス時間遅延光路を構築することによって、パルス多重化レーザーでの金属薄板穴あけの加工効果を明らかにした。なお、使用した全てのレーザーの繰り返し率は5kHzであった。 | | | |