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平成11年度事業開始
岩手県 「生活・地域への磁気活用技術の開発 〜磁場産業の創生〜」
pp.45
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磁気計測技術の開発
レーザーSQUIDを応用した製品検査機器の開発
吉澤 正人
1)
, 大坊 真洋
1)
, 志子田 有光
2)
, 何 東風
1) 岩手大学工学部
2) 岩手医科大学
Abstract
レーザーの空間選択性とSUQIDの高感度を利用した新しい非接触型半導体検査装置を開発する。
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Copyright (c) 2005 独立行政法人 科学技術振興機構
